介質(zhì)阻擋放電是在兩個電極之間放置一層不導(dǎo)電層，以獲得更高密度的帶點粒子。介質(zhì)阻擋放電 可以在0.1～10 105Pa的氣壓下進行，具有輝光放電的大空間均勻放電和電暈放電的高氣壓運行 的特點。整個放電是由許多在空間和時間上隨機分布的微放電構(gòu)成，這些微放電的持續(xù)時間很短 ，一般在10ns量級。介質(zhì)層對此類放電有兩個主要作用：一是限制微放電中帶電粒子的運動，使 微放電成為一個個短促的脈沖；二是讓微放電均勻穩(wěn)定地分布在整個面狀電極之間，防止火花放 電。介質(zhì)阻擋放電由于電極不直接與放電氣體發(fā)生接觸，從而避免了電極的腐蝕問題。
等離子廢氣處理裝置特點：不發(fā)生擊穿現(xiàn)象，避免尖端放電，電能利用率高；放電均勻，電子密 度高，具有極高的處理效率；電極避免與廢氣直接接觸，放置發(fā)生腐蝕；操作簡單，即開即用， 人工費用低；僅消耗電能，避免使用藥劑帶來的存儲及二次污染問題。
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